對于大多數清潔空間,為了防止外部污染的侵入,有必要保持內部壓力(靜態壓力)高于外部壓力(靜態壓力)。保持壓差通常應符合以下原則:
1.清潔空間中的壓力高于非清潔空間中的壓力。
2.清潔度高的空間中的壓力高于清潔度低的空間中的壓力。
3.潔凈室之間的門應打開至潔凈度較高的房間。
壓力差的維持取決于新鮮空氣的量。在這個壓力差下,新的空氣量需補償從間隙泄漏的空氣量。因此,壓差的物理含義是當氣流的泄漏(或滲透)穿過潔凈室的各個間隙時的阻力。
而氣流速度是指潔凈室中的氣流速度,在討論特定設備時將說明其他潔凈空間中的氣流速度。對于湍流的潔凈室,由于主要主要依靠稀釋空氣來減少室內污染程度,所以主要采用換氣次數的概念代替速度的概念,但是室內空氣流速還具有以下要求;
?。?)供氣口出口處的氣流速度不應太大。與空調房間相比,速度衰減更快,擴散角更大。
?。?)氣流速度(例如傳送側面時的再循環速度)不應太大,以免表面顆粒返回氣流并造成再次污染。該速度通常不適用于0.2m/s的較大干燥度。
對于平行流潔凈室“以前被稱為層流潔凈室”,橫截面上的速度是非常重要的指標,因為活塞被氣流擠壓以消除染色。過去使用美國20gB標準。它使用0.45m/s。但是人們也知道,如此大的速度所需的通風非常大。為了節省能源,它還在探索降低一速行駛速度的可行性。
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